SETO 1.67 Lionsa Fótacrómach SHMC

1) Cad é sciath casadh?

Is nós imeachta é an sciath casadh chun scannáin tanaí aonfhoirmeacha a chur ar fhoshraitheanna comhréidh.De ghnáth cuirtear méid beag ábhar brataithe i bhfeidhm ar lár an tsubstráit, a bhíonn ag sníomh ar luas íseal nó nach bhfuil ag sníomh ar chor ar bith.Déantar an tsubstráit a rothlú ansin ag luas suas le 10,000 rpm chun an t-ábhar sciath a scaipeadh trí fhórsa lártheifeacha.Tugtar rothlóir nó rothlóir ar mheaisín a úsáidtear chun casadh a dhéanamh.
Leantar den rothlú agus an sreabhach ag casadh as imill an tsubstráit, go dtí go mbaintear amach tiús an scannáin atá ag teastáil.Is gnách go mbíonn an tuaslagóir feidhmithe luaineach, agus evaporates ag an am céanna.Dá airde an luas uilleach sníomh, is amhlaidh is tanaí an scannán.Braitheann tiús an scannáin freisin ar shlaodacht agus tiúchan an tuaslagáin, agus an tuaslagóir.Rinne Emslie et al., anailís theoiriciúil cheannródaíoch ar bhratú casadh, agus tá sí leathnaithe ag go leor údair ina dhiaidh sin (lena n-áirítear Wilson et al., a rinne staidéar ar an ráta leathadh i gcrannbhratú; agus Danglad-Flores et al., a d’aimsigh a cur síos uilíoch chun tiús an scannáin taiscthe a thuar).
Úsáidtear sciath casadh go forleathan i micrestruchtúrú sraitheanna ocsaíde feidhme ar ghloine nó ar fhoshraitheanna criostail aonair ag baint úsáide as réamhtheachtaithe glóthacha sól, áit ar féidir é a úsáid chun scannáin tanaí aonfhoirmeacha a chruthú le tiús nanascála.[6]Úsáidtear go dian é i bhfótalitagrafaíocht, chun sraitheanna de photoresist thart ar 1 micriméadair tiubh a thaisceadh.De ghnáth déantar Photoresist a sníomh ag 20 go 80 réabhlóid in aghaidh an tsoicind ar feadh 30 go 60 soicind.Úsáidtear go forleathan é freisin chun struchtúir fhótónacha plánacha déanta as polaiméirí a dhéanamh.
Buntáiste amháin a bhaineann le sciath casadh scannáin tanaí ná aonfhoirmeacht thiús an scannáin.Mar gheall ar fhéinleibhéalú, ní athraíonn tiús níos mó ná 1%.Mar sin féin, d'fhéadfadh coirníní imeall réasúnta mór a bheith mar thoradh ar scannáin níos tiús sciath casadh de pholaiméirí agus de pholaiméirí a bhfuil teorainneacha fisiceacha ag a bhfuil a bpleanáil.